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申请查询人 HY23VMD 查询时间 2023-12-21 17:25:36
申请查询信息 单晶金刚石生长设备技术参数设备原理及用途：本设备采用微波等离子体化学气相沉积原理（MPCVD）生长单晶金刚石。微波法是用电磁波能量来激发反应气体，由于是无极放电，等离子体纯净，同时微波的放电区集中而不扩展，能激活产生各种原子基团如原子氢等，产生的离子的最大动能低，不会腐蚀已生成的金刚石，具有制备温度低、面积大、纯度高、结晶形态好等优点。二、主要技术参数1.主机尺寸：1250mm×900mm×2100mm2.微波频率2450MHz±50MHz3.微波输出功率:0.6–6kW连续可调4.测温方式:红外400–1400℃ 5.极限压力:5×10-3torr6.腔体内工作压力:2torr–300torr7.水冷样品台尺寸:Φ100mm8.中心样品台尺寸:Φ75mm9.样品台轴向调节范围：0-130mm10.工作气体：5路MFC11.设备总功率：12kW
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